五大計量院在上海召開納米幾何特征參量計量標准會議

近日,中國計量科學研究院、山東省計量科學研究院、南京市計量監督檢測院、蘇州市計量測試研究院、上海市計量測試技術研究院共同召開,NQI課題《納米幾何特征參量計量標准器在生物醫藥産業應用示範》工作會議。
該課題取得的研究成果:2項發明專利、1項校准規程、2項地方標准、5項社會公益計量標准。本次會議探討了研究中的重點、難點問題。爲課題的進一步研究劃出了目標。
幾何量測量方法
指測量時所采用的測量原理、計量器具相測量條件的綜合。在測量過程中,應根據被測零件的特點(如材料硬度、外形尺寸、批量大小、精度要求等)和被溯對象的定義來擬定測量方案、選擇計量器具和規定測量條件。
納米計量儀器
納米的計量並非傳統計量簡單拓展。微電子和超精細加工走入了納米空間。幾何測量納米逐漸走向實用性。由于納米的尺度接近原子極限,它的測量方法和儀器都有獨特性。
一、掃描隧道顯微鏡
二、激光幹涉儀測距
三、幹涉儀(由穩頻塞曼激光光源、四光束偏振邁克爾幹涉儀和數據分析電子系統組成)
四、X光幹涉儀
五、電容式位移控制微懸臂原子力顯微鏡
六、描探針顯微鏡系列(掃描隧道顯微鏡、原子力顯微鏡等組成)
七、原子力顯微鏡(光學偏轉法檢測)

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